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中國時報【徐養齡╱竹市報導】
對竹科各大廠而言，懂得如何「用水」可說是提高產能的第一步，針對台灣普遍水質不佳，竹科廠商寧可斥資設置精密的水源過濾系統，將雜質徹底濾出，以免要價不斐的精密晶圓受損。
竹科管理局局長杜啟祥表示，園區內半導體、光電等廠區使用的製程用水皆為純淨度極高的純水多益成績證書顏色，半導體純水系統處理流程，從原始端的自來水進入原水槽、多層過濾器、活性碳吸附塔、離子交換樹脂塔等逾10個流程，過濾程序繁複，每噸純水生產成本約110到115元。
以國內半導體龍頭台積電為例，用水量中有9成以上都是製程用水，台積晶圓單位線上英文補習面積用水量為每平方公分5.66公升，使用的是純淨度遠遠超過一般民生用水的超純水，因此在各廠區皆設置大型水質過濾系統，透過多層過濾器、活性碳等流程，達到嚴格的水質控管。
不僅濾水流程做足功夫，台積電也著重廢水處理及回收，依水質分級回收再分流處理，超過87.5％的廢水可回收再利用，一天可產生24萬噸回收水，且反覆再利用，平均每滴水可使用3.5次。
旺宏電子過濾水源方式，透過前置處理、離子交換、逆滲透等生成純水，以去除金屬鹽類、有機物、SiO2及微粒子等雜質。
之後再經過「超純水製造系統」，將更細微的雜質幾乎完全去除，也將溶解在水中的氣體一併去除後，再供給製程生產用水，主要作為清洗晶圓使用，並能達到85％以上回收率。
友達光電表示，廠房使用的製程用水非一般民生用水，針對面板或半導體的製程，使用經過濾系統處理過的超純水，平均廢水回收率達85％以上，6代以上廠房更可達90％以上，屬業界高標準，而龍潭廠區則將於今年底達成廢水全面回收。
基隆英文家教老師
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